江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

顯微鏡/觀察裝置

（1）     激光顯微鏡

激光顯微鏡/ 3D測量激光顯微鏡

奧林巴斯

激光顯微鏡LEXT OLS5000   

通過安裝405nm激光器，它是一種能夠在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率三維形狀觀察，測量和粗糙度測量的模型。

主要特點(diǎn)

對比視力

這是一種觀察方法，其將光均勻地照射到樣品并捕獲透過樣品或從樣品反射的光。

這是常見的觀察方法，其中樣品透射或反射的差異在觀察到的圖像中提供對比度。

差分干擾

這是一種使用光的偏振和相干性來觀察樣品表面上通常看不到的微小臺階的觀察方法。

通過使用棱鏡將照明光分成兩個(gè)橫向偏移的光束來照射樣品。當(dāng)拍攝從樣品直接反射的兩條光線之間的差異時(shí)，產(chǎn)生明暗對比度，并且可以在三維中觀察到微小步驟。

300毫米晶圓兼容

具有大行程平臺的顯微鏡，可以對300 mm晶圓進(jìn)行全面觀察。透射照明的組合還可以支持17英寸FPD檢測。

短波激光

通過使用波長比可見光短的紫激光觀察，您可以獲得比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。

粗糙度測量

測量一行樣品表面的“線粗糙度測量”，可以測量整個(gè)表面的“表面粗糙度測量”。

類似于接觸式表面粗糙度測量機(jī)和過濾器負(fù)載的校準(zhǔn)和表面粗糙度參數(shù)提供與傳統(tǒng)接觸式表面粗糙度測量機(jī)兼容的數(shù)據(jù)。此外，利用非接觸性能，可以測量難以接觸的軟樣品和粘性樣品的粗糙度。