• 實時監(jiān)測
  快速響應和*的重復性允許實時跟蹤蒸汽濃度的變化
• 多重校準曲線功能（可選）
  允許測量多達 3 種化學品或量程的濃度
• 多重顯示功能
  IR-300 設備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測和前驅體供應管線狀態(tài)的現場檢查能力
• 通信功能
  通過 DeviceNet?、RS485 和模擬通信連接
• 設計簡單緊湊
  該設備的面對面尺寸為 124 毫米，設計緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

 

高光強和長壽命光源與高速信號處理相結合，使 IR-300 系列能夠對化學品濃度的變化做出更快、更可重復的響應。這些特性通過實時在線濃度測量，讓用戶真正了解實際制程。

MOCVD 化學品的測量示例

■實驗流程圖

■監(jiān)測化學品濃度變化

以下是實時監(jiān)測供應化學品濃度的示例，化學品濃度因背壓調節(jié)器調節(jié)鼓泡器中的壓力而改變。

 

測量技術

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行對比，并將結果轉換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結果。

 

光學系統由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗證。