樣品表面的反射光通過(guò)遮光板上的細(xì)孔到達(dá)檢測(cè)器。點(diǎn)光源的照射光到達(dá)樣品并聚焦時(shí),其反射光也正好在細(xì)孔處聚焦,因此稱為“共聚焦光學(xué)系統(tǒng)“。樣品表面的聚焦部位,其反射光經(jīng)細(xì)孔到達(dá)檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè);未聚焦的反射光大部分被遮光板擋住,無(wú)法被檢出。這種僅聚焦部位的反射光被檢出的共聚焦光學(xué)系統(tǒng),為HYBRID+激光顯微鏡所采用。
OLED行業(yè)、晶振應(yīng)用、SAW濾波器、半導(dǎo)體激光、太陽(yáng)能電池、液晶面板、透明晶圓檢查等。
特點(diǎn):
▆ 提供6項(xiàng)職能以滿足各種需要:
1.白光共焦:白光共焦顯微鏡是利用共焦光學(xué)和白光的顯微鏡。HYBRID+ 可作為白光共焦顯微鏡進(jìn)行全色高清晰度觀測(cè)和高分辨率三維輪廓測(cè)量。
2.激光共焦:HYBRID+利用共焦光學(xué)和激光光源作為激光共焦顯微鏡。它使高放大率、高分辨率的觀測(cè)和測(cè)量與掃描電子顯微鏡的性能相當(dāng)。
3.差動(dòng)干涉對(duì)比:共焦光學(xué)與差動(dòng)干涉對(duì)比相結(jié)合,使得細(xì)地形的高對(duì)比度實(shí)時(shí)可視化。
4.垂直掃描白光干涉測(cè)量:該功能利用干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)地形進(jìn)行納米尺度測(cè)量,并對(duì)晶圓片和薄膜進(jìn)行廣域波動(dòng)測(cè)量。它使用雙波束干涉物鏡,以便能夠在一毫米規(guī)模的大面積上對(duì)納米尺度的地形進(jìn)行高精度的剖面測(cè)量。
5.相移干涉測(cè)量:這個(gè)功能使用干涉測(cè)量來(lái)進(jìn)行角度尺度地形測(cè)量。
6.光譜反射計(jì)薄膜厚度測(cè)量:這個(gè)功能使用反射計(jì)來(lái)測(cè)量厚度小于1微米的透明薄膜的厚度。
▆ 滿足行業(yè)*的規(guī)格并實(shí)現(xiàn)高精度:
HYBRID+ 實(shí)現(xiàn)行業(yè)*的性能激光顯微鏡的各種觀測(cè)和測(cè)量應(yīng)用。
1.高速測(cè)量:HYBRID+實(shí)現(xiàn)行業(yè)*的高速幀速率(15赫茲),在圖像拼接、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)缺陷檢測(cè)和高速移動(dòng)圖像觀測(cè)方面帶來(lái)*的性能。
2.高精度測(cè)量:HYBRID+達(dá)到行業(yè)*的測(cè)量精度和重復(fù)性。
▆ 提供各種測(cè)量、分析和支持功能,以提高可用性
LM眼,混合測(cè)試分析軟件 +,提供各種功能,協(xié)助你順利運(yùn)作。
▆ 自動(dòng)操作以提高效率
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