北崎供應(yīng)EBARA 荏原 RJ-CA 低溫冷卻器

2025/03/13 08:48:09

型號 RJ-CA

用于使用天然制冷劑（CO2）的半導體制造設(shè)備的低溫冷卻器

體積小，功率大

水冷

內(nèi)置泵

天然制冷劑 R744 （CO?）（GWP=1）

CE 標志/SEMI/NRTL

減少占地面積

節(jié)能

產(chǎn)品介紹

該冷水機將天然制冷劑（CO2）用于半導體制造設(shè)備。內(nèi)置的緊湊型屏蔽泵和 Ebara 的變頻控制技術(shù)節(jié)省了空間和能源。 ± 0.1°C 的溫度控制成為可能，有助于提高工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)量。

型			RJ-CA1V 系列
冷卻能力（50Hz/60Hz）		千瓦	4.0 （-10°C 時） 10.0 （20°C 時）
溫度控制范圍		°C	-20~70°C
溫度控制精度		°C	± 0.1
尺寸（寬 x 深 x 高）		毫米	370 x 950 x 1080
質(zhì)量		公斤	190 （不含循環(huán)液或冷卻水）
循環(huán)液	使用的流體		FC-3283、HT135、SF-10 等
	壓力進料泵容量	升/分鐘	20 （0.76MPa）
冷卻水	溫度范圍	°C	10~25
安全標準			SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL
權(quán)力		V	三相 200~208
運行控制方法			變頻器控制方法
使用的制冷劑			R744（二氧化碳變暖潛值：1）
* 規(guī)格僅供參考。

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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北崎供應(yīng)EBARA 荏原 RJ-CA 低溫冷卻器

型號 RJ-CA

用于使用天然制冷劑 （CO2） 的半導體制造設(shè)備的低溫冷卻器

產(chǎn)品介紹

用于使用天然制冷劑（CO2）的半導體制造設(shè)備的低溫冷卻器