山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商（ 宋）質(zhì)量流量控制器 （Mass Flow Controller 縮寫為 MFC） 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣

山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商

工作原理

氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

安徽熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商

開機操作檢查各設(shè)備連接處應(yīng)無泄漏現(xiàn)象，，氣源的溫度和壓力應(yīng)穩(wěn)定，按照產(chǎn)品說明電路連接正確之后通電。

與流量顯示儀連接

開機操作之后，先將流量顯示儀的閥開關(guān)置到“關(guān)閉”位，將設(shè)定值調(diào)到零，再開氣，待零點穩(wěn)定后，再轉(zhuǎn)到“閥控”位，然后設(shè)定值調(diào)到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設(shè)定值而變化。

與計算機連接

開機操作之后，通過RS485與計算機通訊，之后在計算機上將設(shè)定值調(diào)到零，再開氣，待零點穩(wěn)定后，再通過計算機將設(shè)定值調(diào)到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設(shè)定值而變化。

關(guān)機操作

先斷氣，再將設(shè)定值調(diào)到零，然后斷電。