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非接觸式三次元測量儀

價格
¥100,000.00

型號
NH

品牌
MITAKA

所在地
暫無

更新時間
2023-01-07 20:14:38

瀏覽次數(shù)

    非接觸式三維測量儀

    采用激光非接觸式測量,適用于多種材料和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的樣品的三維測量設(shè)備。

    NH系列是由高測量度的激光自動對焦顯微鏡,以及高精密度的XYZ載臺所構(gòu)成。如圖所示,被射入顯微鏡鏡頭的激光穿過物鏡后聚焦于光軸中心之處,接著反射于工件表面再穿過物鏡后成像于AF傳感器之上。由于失焦時,激光光點(diǎn)會于傳感器上產(chǎn)生位置變化,使得傳感器能捕捉到此位置變化,并利用AF驅(qū)動機(jī)制將物鏡定位于聚焦處。進(jìn)行形狀測量時,會利用自動XY載臺掃描工件,取得所聚焦各點(diǎn)之XYZ值。以這樣的方式進(jìn)行作業(yè),工件表面的顏色或反射率等不僅不會受到影響,并且可達(dá)到大范圍的高精度測量。


    主要精度:

    XY分解能:0.01μm

    Z分解能:0.001μm

    XY測定範(fàn)囲:150mm

    Z測定範(fàn)囲:10mm



    應(yīng)用實(shí)例

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