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可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

價(jià)格
電議

型號(hào)
HC220PE

品牌
安賽斯

所在地
北京市

更新時(shí)間
2024-02-29 12:01:14

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    HC220PE可編程精密勻膠機(jī),采用高級(jí)PLC 模塊,工業(yè)級(jí)伺服電機(jī),全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

    產(chǎn)品介紹:


    名  稱:可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

    型  號(hào):HC220PE

    應(yīng)  用:HC220PE可編程精密勻膠機(jī),采用高精度工業(yè)伺服電機(jī),配置8英寸人機(jī)界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研所,實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。


    產(chǎn)品概述:


      HC220PE可編程精密勻膠機(jī),采用高級(jí)PLC 模塊,工業(yè)級(jí)伺服電機(jī),全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮印雽?dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
      設(shè)備采用工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中*的*達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復(fù)性。

    性能參數(shù):


    l  旋涂程序:采用與track設(shè)備類似的程序與設(shè)計(jì),*多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒;

    l  電機(jī)速度:0-10,000rpm;

    l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載);

    l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm;

    l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm;

    l  重復(fù)性< 1rpm;

    l  工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step;

    l  時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec;

    l  支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶);

    l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量);


    產(chǎn)品特點(diǎn):



    l  用高級(jí)PLC模塊,工業(yè)級(jí)伺服電機(jī);

    l  8英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;

    l HDPE高分子內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

    l內(nèi)腔壁采用的凹面設(shè)計(jì),有效防濺;

    l可編程寫和存儲(chǔ)100組程序,每組100步;

    l帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能;

    l帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能;

    l帶排廢接口;

    l具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;

    l管路易疏通設(shè)計(jì);

    l具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能;

    l正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換;

    l旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行;

    l速度-時(shí)間曲線實(shí)時(shí)顯示;

    l配置四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);

    l可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

    l配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;

    可編程精密勻膠機(jī)HC220PE




    可編程精密勻膠機(jī)HC220PE






    可編程精密勻膠機(jī)HC220PE



    可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

    不同尺寸的載物盤


    產(chǎn)品外型尺寸:

    444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)    

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